مجهر إلكتروني ماسح
المجهر الالكتروني الماسح هو نوع من أنواع المجاهر الإلكترونية التي تنتج صور عينة عن طريق مسح ذلك مع شعاع مركز من الإلكترونات. تتفاعل الإلكترونات مع الذرات في العينة، وتنتج إشارات مختلفة تحتوي على معلومات حول تضاريس السطح وتكوينه. يتم مسح شعاع الإلكترون بشكل عام باستخدام المسح النقطي ويتم الجمع بين موقع الشعاع مع الإشارة لإنتاج صورة. سيم يمكن تحقيق فصل أفضل من 1 نانومتر. ويمكن مشاهدة العينات في فراغ عالي، في فراغ منخفض، في ظروف رطبة (في المجهر الالكتروني الماسح البيئي)، وفي مجموعة واسعة من درجات الحرارة المنخفضة جدًا أو المرتفعة. إن أسلوب المجهر الالكتروني الماسح الأكثر شيوعا هو الكشف عن الإلكترونات الثانوية المنبعثة من ذرات مثارة بواسطة شعاع الإلكترون. يعتمد عدد الإلكترونات الثانوية التي يمكن اكتشافها، من بين أمور أخرى، على تضاريس العينة. عن طريق مسح العينة وجمع الإلكترونات الثانوية التي تنبعث باستخدام كاشف خاص، يتم إنشاء صورة عرض تضاريس السطح.
في الأجهزة التناظرية، يتم مسح شعاع الإلكترونات عبر العينة في المسح النقطي بواسطة لفائف المسح الضوئي. ويشبه نمط المسح النقطي الناتج عن ذلك النمط المستعمل في أنبوب أشعة الكاثود لنظام التلفزيون بحيث تقوم الإلكترونات بالتالي:
1. تجتاح السطح خطيا في الاتجاه السيني.
2. تعود إلى نقطة البداية.
3. تتجه في اتجاه محور الصادات بواسطة أداة قياسية.
التاريخ
قدم ماكمولان سرداً لتاريخ المجهر الإلكتروني الماسح.[1][2] على الرغم من أن ماكس كنول أنتج صورةً أبعادها 50 ملم تُظهر تباين القنوات باستخدام ماسح شعاع الإلكترون، [3] إلا أن مانفريد فون آردنهو من كان اخترع عام 1937 [4] ميكروسكوباً حقيقياً بدرجة تكبير عالية، عن طريق مسح نقطية صغيرة جداً بشعاع إلكتروني دقيق التركيز. طبّق آردين مبدأ المسح ليس فقط للحصول على التكبير فحسب بل أيضاً للتخلص عن قصد من الزيغ اللوني. كما ناقش أساليب الكشف المختلفة وإمكانيات ونظريات المجهر الإلكتروني الماسح،[5] مه بناء أول مجهرإلكتروني ماسح عالي التكبير.[6] كما قدّمت أعمال أخرى نفّذتها مجموعة فلاديمير زوريكين،[7] تلتها مجموعات عمل في كامبريدج في عقد الخمسينيات وأوائل عقد الستينيات،[8][9][10][11] بقيادة تشارلز أوتالي، أدت جميعها في نهاية الأمر إلى تسويق أول أداة في السوق بواسطة شركة كامبريدج للأدوات العلمية باسم "ستيريوسكان" عام 1965، وقد تمّ تسليمها إلى شركة دو بونت.
اقرأ أيضًا
مراجع
- ^ McMullan, D. (2006). "Scanning electron microscopy 1928–1965". Scanning. ج. 17 ع. 3: 175–185. DOI:10.1002/sca.4950170309. PMC:2496789. مؤرشف من الأصل في 2019-05-14.
- ^ McMullan, D. (1988). "Von Ardenne and the scanning electron microscope". Proc Roy Microsc Soc. ج. 23: 283–288.
- ^ Knoll، Max (1935). "Aufladepotentiel und Sekundäremission elektronenbestrahlter Körper". Zeitschrift für technische Physik. ج. 16: 467–475.
- ^ von Ardenne M. Improvements in electron microscopes. GB 511204, convention date (Germany) 18 February 1937
- ^ von Ardenne, Manfred (1938). "Das Elektronen-Rastermikroskop. Theoretische Grundlagen". Zeitschrift für Physik (بالألمانية). 109 (9–10): 553–572. Bibcode:1938ZPhy..109..553V. DOI:10.1007/BF01341584.
- ^ von Ardenne, Manfred (1938). "Das Elektronen-Rastermikroskop. Praktische Ausführung". Zeitschrift für technische Physik (بالألمانية). 19: 407–416.
- ^ Zworykin VA, Hillier J, Snyder RL (1942) A scanning electron microscope. ASTM Bull 117, 15–23.
- ^ McMullan, D. (1953). "An improved scanning electron microscope for opaque specimens". Proceedings of the IEE – Part II: Power Engineering. ج. 100 ع. 75: 245–256. DOI:10.1049/pi-2.1953.0095.
- ^ Oatley CW, Nixon WC, Pease RFW (1965) Scanning electron microscopy. Adv Electronics Electron Phys 21, 181–247.
- ^ Smith KCA, Oatley, CW (1955). "The scanning electron microscope and its fields of application". British Journal of Applied Physics. ج. 6 ع. 11: 391–399. Bibcode:1955BJAP....6..391S. DOI:10.1088/0508-3443/6/11/304.
{{استشهاد بدورية محكمة}}: صيانة الاستشهاد: أسماء متعددة: قائمة المؤلفين (link) - ^ Wells OC (1957) The construction of a scanning electron microscope and its application to the study of fibres. PhD Dissertation, Cambridge University.
مصادر
skoog,(1971),608-613,"principles of instrumental analysis.
McMullan, D. (2006). "Scanning electron microscopy 1928–1965". Scanning. 17 (3): 175–185. معرف الوثيقة الرقمي:10.1002/sca.4950170309.
 |
في كومنز صور وملفات عن: مجهر إلكتروني ماسح |
| ضبط استنادي: وطنية |
|---|
