إن البنية النانوية هي الأغراض ذات الأحجام المتوسطة بين البنىالجزيئية وبين البنى المجهرية (ذات الحجم الميكرومتري)
عند وصف البنى النانوية من الضروري التمييز بين عدد الأبعاد حسب المقياس النانومتري. فأسطح الأنسجة النانوية أحادية البعد حسب المقياس النانومتري، حيث تتراوح سماكة سطح الغرض بين 0.1 و 100 نانومتر.[1][2] والأنابيب النانوية ثنائية البعد حسب المقياس النانومتري، فقطر الأنبوب يترواح بين 0.1 و 100 نانومتر، وقد يكون طوله أكبر من ذلك. وأخيراً فإن الجسيمات النانوية الكروية ثلاثية الأبعاد حسب المقياس النانومتري، حيث يتراوح كل بعد مكاني للجسيم بين 0.1 و 100 نانومتر. ويتم استخدام مصطلحي الجسيمات النانوية و الجسيمات فائقة الصغر (UFP) غالباً بشكل مترادف على الرغم من أن الجسيمات فائقة الصغر (UFP) يمكن أن تصل إلى المجال الميكرومتري. وغالباً ما يتم استخدام مصطلح 'البنية النانوية' عند الإشارة إلى التقانة المغناطيسية.
^Hubler، A.؛ Lyon، D. (2013). "Gap size dependence of the dielectric strength in nano vacuum gaps". IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation. DOI:10.1109/TDEI.2013.6571470.
